• 我們提供 Huttinger 電源供應器全系列維修服務，以及 AE、MKS、ENI…等各廠電漿電源供應器(Plasma power supply)維修服務！
• 各種品牌真空 Pump、控制器 Control：如 Leybold, Edwards, Osaka…等
• 其他：如真空系統測漏服務、Gauge 維修、測漏儀維修…等

Vacuum Analysis Instruments

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• 各種元件：中心圈 Center ring、管夾 Clamp、彎管 Bellow、O型環 Oring、閥門 Valve等
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• Inficon 品牌：真空計 Vacuum Gauge、氣體分析儀 RGA、質譜儀 Mass Spectrometers等
• 膜厚量測

Leak Detectors：Inficon 氦氣測漏儀